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質量流量控制器，即 Mass Flow Controller(縮寫為MFC)，不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一種用于通過測量流體的質量流量來控制流量的設備。當氣體流經(jīng)加熱表面時，氣體分子產生熱傳遞，與加熱表面產生接觸的氣體分子越多，熱傳遞現(xiàn)象越明顯。通過對加熱表面熱量變化的測量，即可以反應出某種氣體的質量流量變化。這種測量方法不受氣壓與環(huán)境溫度的影響，因為它所測量的本質是氣體分子的數(shù)量。

熱式氣體質量流量傳感器是氣體質量流量控制器中一個重要的核心部件,對氣體質量流量控制器的性能指標,如零漂,準確度,線性,重復度,響應時間等重要指標參數(shù)有直接影響.要使氣體質量流量控制器的性能指標得到明顯改善,首先就要提升熱式氣體質量流量傳感器的性能.然而,熱式氣體質量流量傳感器的性能與其本身的結構參數(shù)設計是密切相關的。那么IST流量傳感器在MFC中的應用如何呢？





IST-AG通過特殊的薄膜工藝，將高精度加熱器，溫度傳感器或電堆封裝在單一芯片內，構成流量測量的核心傳感單元（Figure 2）    ，通過流量傳感器以響應絕大多數(shù)流量測量場景，薄膜技術的應用使得IST AG流量傳感器具有無與倫比的結構與性能優(yōu)勢。為此IST流量傳感器在MFC中的應用工采網(wǎng)推薦瑞士IST 質量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級版IST-AG FS7流量傳感器。



IST公司的FS5.0.1L.195是一個熱質流量傳感器,用于各種氣流應用.熱質流量傳感器使用熱傳遞原則,確定流體的流率.隨著流體通過傳感器,熱質由傳感器傳遞到媒體.此關序取決于流動速率.隨著流動增加,熱量被傳遞.通過了解媒體的溫度,即可通過為保持恒定溫度差的電壓補償量得出流速。

而IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測量范圍允許將傳感器直接置于被測氣路當中，免去復雜的旁路設計。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進行保護，具有極佳的長期穩(wěn)定性。



因此在終端應用中，質量流量控制器的可靠性多半是許多半導體工藝的基礎。MFC 的失準或制造缺陷會導致晶圓產量下降，甚至會損壞整個晶圓。采用IST流量傳感器則可以為MFC產品帶來如下優(yōu)勢:

1、足夠寬的測量范圍使得在許多場景中不必使用旁路，而進行直接測量，提高測量的準確性。

2、薄膜技術帶來極高的響應靈敏度，在一般測量狀態(tài)就可以瞬間響應壓力浪涌。

3、小巧的體積與簡單的安裝方式，給氣路結構優(yōu)化創(chuàng)造更大的空間。

4.易于校準，簡化生產過程。